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一、用途: |
干涉显微镜是用来测量精密加工零件(平面、圆柱等外表面)光洁度 |
的仪器,也可以用来测量零件表面刻线,镀层等深度。 |
该仪器配有各种附件,还能测量粒状、加工纹路混乱的表面及低反射率 |
的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上,对大型工件表面进行测量。 |
仪器测量表面不平深度范围为1~0.03微米,用测微目镜和照相方法 |
来评定▽10~▽14光洁度的表面。 |
干涉显微镜适用于厂矿企业计量室、精密加工车间,也适用于高等院校、 |
科学研究等单位。 |
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干涉显微镜 6JA
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二、主要技术规格: |
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测量表面光洁度范围(表面粗糙度) ▽10~▽14 |
工作物镜的数值孔径 |
0.65 |
工作距离 |
0.5毫米 |
仪器的视场 |
目视 |
φ0.25毫米 |
照相 |
0.21×0.15毫米 |
仪器的放大倍数 |
目视 |
500倍 |
照相 |
168倍 |
测微目镜放大倍数 |
12.5倍 |
工作台升程 |
5毫米 |
X、Y方向移动范围 |
≈10毫米 |
旋转运动范围 |
360° |
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三、仪器配置: |
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1、仪器主体 1台 |
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2、12.5X测微目镜 1件 |
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3、狭缝目镜 1件 |
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4、V型块 1件 |
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5、6V/5W灯泡 2件 (备用) |
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6、变压器 1只 |
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7、试样夹 1件 |
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四、选购件: |
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DF相机、电脑成像系统等 |
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表面粗糙度与光洁度的关系参考表 (单位:μm) |
表面粗糙度
GB1031-1983
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Ra
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0.012
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0.025
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0.05
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0.10
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0.20
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0.40
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0.80
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1.60
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3.20
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6.30
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12.5
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25
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50
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100
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表面光洁度
GB1031-1968
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Ra
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0.01
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0.02
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0.04
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0.08
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0.16
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0.32
|
0.63
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1.25
|
2.5
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5
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10
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20
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40
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80
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等级
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▽14
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▽13
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▽12
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▽11
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▽10
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▽9
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▽8
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▽7
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▽6
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▽5
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▽4
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▽3
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▽2
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▽1
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表面状态
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雾状镜面
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镜状光泽面
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亮光泽面
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暗光泽面
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不可辨加工痕迹方向
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微辨加工痕迹方向
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可辨加工痕迹方向
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看不清加工痕迹
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微见加工痕迹
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可见加工痕迹
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微见刀痕
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可见刀痕
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明显可见刀痕
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